{"title":"Mikrotechnologie","description":"","products":[{"product_id":"978-3-95900-339-1","title":"978-3-95900-339-1","description":"\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std ExtraBold',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eTheoretische und experimentelle Analyse sowie Fertigung eines GMR-Sensors auf flexiblen Substraten\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eAutor*in: Rahel Rahlves\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eISBN: 978-3-95900-339-1\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eDissertation, Leibniz Universität Hannover, 2019\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eHerausgeber*in der Reihe: Lutz Rissing\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eBand-Nr.: IMPT 01\/2019\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eUmfang: 152 Seiten, 89 Abbildungen\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: 12.0pt; line-height: 115%; font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin; mso-fareast-language: DE;\"\u003eSchlagworte: GMR, Dünnschicht-Magnetismus, flexible Sensorik, Rauheit\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"mso-margin-bottom-alt: auto; text-align: justify; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: 12.0pt; line-height: 115%; font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eKurzfassung: Diese Arbeit behandelt die Herstellung und Charakterisierung eines magnetischen Dünnfilm-Sensorsystems auf Basis des gigantischen magnetoresistiven Effekts (engl.: giant magnetoresistance effect, Abk.: GMR) auf einem flexiblen Polymersubstrat. Im Zentrum der Untersuchungen steht das von der Wahl\u003cspan style=\"mso-spacerun: yes;\"\u003e  \u003c\/span\u003edes Substrats beeinflusste Schichtwachstum der mittels Kathodenzerstäubung abgeschiedenen Metallschichten und deren, mit der Schichtmorphologie zusammenhängenden magnetischen und magnetoresistiven Eigenschaften. Die Ausprägung des GMR-Effekts ist stark abhängig von Grenzflächen-und\u003cspan style=\"mso-spacerun: yes;\"\u003e  \u003c\/span\u003emagnetischen Kopplungsmechanismen, die durch die Schichtmorphologie beeinflusst werden.\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"mso-margin-bottom-alt: auto; text-align: justify; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: 12.0pt; line-height: 115%; font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eDie Schichtmorphologie wiederum wird stark durch die Keimbildung und das Schichtwachstum bestimmt, welches von den Abscheidebedingungen wie Leistung, Gasdruck und Substrattemperatur und der Beschaffenheit des Substrats bezüglich Rauheit, freier Oberflächenspannung und thermischer Ausdehnung abhängig ist. Der Fokus der vorliegenden Arbeit ruht daher auf der Untersuchung dieser Zusammenhänge und ihres Einflusses auf die magnetoresistiven Eigenschaften der GMRSchichtsysteme.\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-size: 12.0pt; line-height: 115%; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"TEWISS Verlag","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":51814698123592,"sku":"978-3-95900-339-1","price":44.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0815\/3448\/4808\/files\/978-3-95900-339-1.jpg?v=1761134104"},{"product_id":"978-3-69030-183-1","title":"978-3-69030-183-1","description":"\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std ExtraBold',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eErforschung eines mikrosystemtechnischen Fertigungsprozesses zur Herstellung von flexiblen Mikroschleifwerkzeugen\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eAutor*in: Lukas Steinhoff\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eISBN: 978-3-69030-183-1\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eDissertation, Leibniz Universität Hannover, 2026\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eHerausgeber*in der Reihe: Marc Christopher Wurz\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eBand-Nr.: IMPT 01\/2026\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eUmfang: 134 Seiten, 52 Abbildungen\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: 12.0pt; line-height: 115%; font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin; mso-fareast-language: DE;\"\u003eSchlagworte: Mikroschleifen, Ultrapräzisionsbearbeitung, Nachgiebigkeit, Kupfer, Edelstahl\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: 12.0pt; line-height: 107%; font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eKurzfassung: \u003cspan style=\"mso-spacerun: yes;\"\u003e \u003c\/span\u003eDie Funktionen von Bauteilen werden maßgebend durch deren Oberfläche gesteuert. Damit auch lokal höchste Oberflächengüten hergestellt werden können, benötigt es passende Mikrowerkzeuge. Zur Endbearbeitung metallischer Oberflächen wurden daher Mikroschleifwerkzeuge mit nachgiebiger Bindung zur Erreichung höchster Oberflächengüten entwickelt. Der Einfluss der Herstellungsparameter und das Einsatzverhalten der Werkzeuge auf Kupfer und Edelstahl wurden untersucht. Auf Stahl konnten Rauheiten von Ra = 0,03 ± 0,03 µm und Rz = 1,67 ± 0,52 µm, auf Kupfer von Ra = 0,04 ± 0,02 µm und Rz = 2,32 ± 0,59 µm erreicht werden. Eine weitere Reduktion der Rauheiten auf Kupfer konnte durch die kombinierte Verwendung eines grob- und eines feinkörnigen Werkzeugs erzielt werden. Somit wurde eine Oberflächengüte im Bereich der Ultrapräzisionsbearbeitung erzielt. Weitere Untersuchungen auf Freiformflächen und Konzepte für eine Weiterentwicklung der Werkzeuge konnten gezeigt werden.\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-size: 12.0pt; line-height: 107%; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"TEWISS Verlag","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":52684363039048,"sku":"978-3-69030-183-1","price":38.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0815\/3448\/4808\/files\/978-3-69030-183-1.jpg?v=1773735358"},{"product_id":"978-3-69030-186-2","title":"978-3-69030-186-2","description":"\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std ExtraBold',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eHochsensitive Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen auf Metallfolienbasis für den Einsatz unter rauen Umgebungsbedingungen\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eAutor*in: Rico Ottermann\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eISBN: 978-3-69030-186-2\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eDissertation, Leibniz Universität Hannover, 2026\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eHerausgeber*in der Reihe: Marc Christopher Wurz\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eBand-Nr.: IMPT 02\/2026\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"margin-top: 0cm; line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eUmfang: 180 Seiten, 155 Abbildungen\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"line-height: 115%;\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: 12.0pt; line-height: 115%; font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin; mso-fareast-language: DE;\"\u003eSchlagworte: Polymerfreie Sensorik, Dehnungsmessstreifen, Kathodenzerstäubung\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: 12.0pt; line-height: 107%; font-family: 'Rotis SansSerif Std',sans-serif; mso-bidi-font-family: Calibri; mso-bidi-theme-font: minor-latin;\"\u003eKurzfassung: \u003cspan style=\"mso-spacerun: yes;\"\u003e \u003c\/span\u003eIn der modernen Produktionstechnik werden zur Prozessüberwachung Dehnungsmessstreifen (DMS) eingesetzt. Herkömmliche DMS stoßen aufgrund ihres polymerbasierten Aufbaus in rauen Umgebungsbedingungen, z.B. im Hochtemperaturbereich, an ihre Grenzen. Hier setzt die vorliegende Dissertation an, indem diese Forschungslücke durch die Entwicklung polymerfreier metallfolienbasierter DMS behandelt wird. Neben der Entwicklung einer metallischen Fügeverbindung liegt der Fokus auf der hochsensitiven Sensorschicht, wozu zwei Ansätze untersucht werden: Laserkristallisiertes Silizium sowie reaktiv gesputterte Chromoxidschichten (CrOx). Letztere überzeugen bei einem Sauerstoffgehalt von 18 at% durch eine dreifache Dehnungssensitivität gegenüber dem Industriestandard bei gleichzeitig exzellenter Temperaturkompensation. Die Arbeit demonstriert die Hochtemperaturstabilität bis 400 °C und ebnet damit den Weg für die präzise Überwachung hochbelasteter Metallkomponenten.\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"TEWISS Verlag","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":52748743606600,"sku":"978-3-69030-186-2","price":38.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0815\/3448\/4808\/files\/978-3-69030-186-2.jpg?v=1774344083"}],"url":"https:\/\/www.tewiss-verlag.de\/collections\/mikrotechnologie.oembed","provider":"TEWISS Verlag","version":"1.0","type":"link"}