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Technologieentwicklung zur Fertigung von Mikrosensoren auf flexiblen Trägersubstraten Tim Griesbach
Buchkategorie: Dissertation
Sachgebiet: Technische Optik, Photonik
Reihe: Berichte aus dem impt
Band: IMPT 01/2013
ISBN: 978-3-944586-40-3
Erscheinungsdatum: 04.03.2014
Format: 210mm x 147mm, 134 S., 87 Abb.
Preis (inkl. MwSt): 40,00 EUR
Inhalt

Diese Dissertation beschreibt den Systementwurf, die dünnfilmtechnische Fertigung und die messtechnische Charakterisierung von Mikrosensoren auf flexiblen Trägersubstraten. Eine wesentliche Eigenschaft dieser Mikrosensoren stellt die Verwendung einer Polymerfolie mit flexiblen Eigenschaften als Systemträger dar. Da bei bisherigen Mikrosystemen das Substrat den größten Teil des Bauteilvolumens darstellt, eröffnet diese Entwicklung neuartige Möglichkeiten bei der Systemintegration der Mikrosensoren. Auf Grund der geringen Schichtdicken und der flexiblen Eigenschaften des polymerbasierten Systemträgers können diese Mikrosensoren auch auf nicht planaren Oberflächen zur Messung von Belastungsgrößen eingesetzt werden. Die Technologieentwicklung zur Herstellung von Mikrosensoren auf flexiblen Träger-substraten wird am Beispiel eines modularen Mikrowirbelstromsensors durchgeführt.

Schlagwörter
Modulares Sensorkonzept, Mikrowirbelstromsensor, Magnetfeldsensor, substratlose Mikrosensoren, flexible Mikrosysteme
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