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Entwicklung eines Hochtemperatur-Magnetfeldsensors zur Detektion schwacher Felder Anja Wienecke
Buchkategorie: Dissertation
Sachgebiet: Mikrotechnologie
Reihe: Berichte aus dem impt
Band: IMPT 02/2015
ISBN: 978-3-95900-032-1
Erscheinungsdatum: 15.09.2015
Format: 210mm x 147mm, 195 S., 83 Abb.
Preis (inkl. MwSt): 38,00 EUR
Inhalt

Umgebungen mit mehr als 150 °C stellen eine besondere Herausforderung für Sensoren dar. Eine zunehmende Anzahl von Applikationen erfordert jedoch Sensoren, die eine solche thermische Stabilität aufweisen. Im Rahmen dieser Arbeit wird die Entwicklung eines Magnetfeldsensors untersucht, welcher auch bei 250 °C zuverlässig arbeitet und dabei sensitiv genug ist, kleine Magnetfelder, wie das der Erde, zu erfassen. Im Fokus stehen die Entwicklung eines thermisch stabilen Schichtsystems sowie der Entwurf eines geeigneten Sensordesigns und dessen prozesstechnische Umsetzung mit abschließender Charakterisierung.

Schlagwörter
Riesenmagnetowiderstandseffekt, GMR, thermische Stabilität, Austauschkopplung
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