▸ Mikrosensorik und Mikroaktorik
▸ Entwicklung von Produktionsprozessen für Mikrosysteme in der Klein- und Mittelserie
▸ Mechanische Mikrobearbeitung und Mikromontage
▸ Mikro- und Nanotribologie
▸ Aufbau- und Verbindungstechnik
▸ Spezifische Entwicklung miniaturisierter Quantensysteme