Simulationen zur Entwicklung eines Mikro-Wirbelstromsensors zur Abstandsmessung

Autor*in: Heri Iswahjudi

ISBN: 978-3-936888-96-6

Dissertation, Leibniz Universität Hannover, 2005

Herausgeber*in der Reihe: Hans-Heinrich Gatzen

Band-Nr.: IMT 03/2005

Umfang: 129 Seiten, 104 Abbildungen

Schlagworte: Wirbelstromsensor, Finite-Element-Methode, Dünnfilmtechnologie

Kurzfassung:  Das Wirbelstrom-Messverfahren wird in vielen technischen Anwendungen eingesetzt. Die Forderung nach hoher Auflösung führt unter anderem zur Verkleinerung der Sensorabmessungen. Hierfür bietet die Dünnfilmtechnik als eine der Fertigungstechnologien die Möglichkeit zur Miniaturisierung der Sensorgeometrie. Die vorliegende Arbeit befasst sich mit dem Entwurf von Wirbelstromsensoren in Dünnfilmtechnik zur Abstandsmessung. Dabei stehen Modellierung und Simulation im Vordergrund. Zwei Methoden zur Erfassung des Messsignals werden verfolgt. Eine Methode basiert auf dem induktiven Messprinzip. Bei diesem Messprinzip wird das aus Erregerfeld und Feld der Wirbelströme bestehende magnetische Wechselfeld durch elektromagnetische Induktion in ein elektrisches Messsignal umgewandelt. Das zweite Messprinzip beruht auf Erfassung des magnetischen Wechselfeldes durch Magnetfeldsensoren.