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Technologieentwicklung zur Fertigung von Mikrosensoren auf flexiblen Trägersubstraten

Autor: Tim Griesbach

ISBN: 978-3-944586-40-3

Dissertation, Leibniz Universität Hannover, 2014

Herausgeber der Reihe: Lutz Rissing

Band-Nr.: IMPT 01/2013

Umfang: 134 Seiten, 87 Abbildungen

Schlagworte: Modulares Sensorkonzept, Mikrowirbelstromsensor, Magnetfeldsensor, substratlose Mikrosensoren, flexible Mikrosysteme

Kurzfassung: Diese Dissertation beschreibt den Systementwurf, die dünnfilmtechnische Fertigung und die messtechnische Charakterisierung von Mikrosensoren auf flexiblen Trägersubstraten. Eine wesentliche Eigenschaft dieser Mikrosensoren stellt die Verwendung einer Polymerfolie mit flexiblen Eigenschaften als Systemträger dar. Da bei bisherigen Mikrosystemen das Substrat den größten Teil des Bauteilvolumens darstellt, eröffnet diese Entwicklung neuartige Möglichkeiten bei der Systemintegration der Mikrosensoren. Auf Grund der geringen Schichtdicken und der flexiblen Eigenschaften des polymerbasierten Systemträgers können diese Mikrosensoren auch auf nicht planaren Oberflächen zur Messung von Belastungsgrößen eingesetzt werden. Die Technologieentwicklung zur Herstellung von Mikrosensoren auf flexiblen Träger-substraten wird am Beispiel eines modularen Mikrowirbelstromsensors durchgeführt.

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