Laserinduzierte Zerstörung in oxidischen Schichtsystemen für den UV Bereich

Autor: Lars Jensen

ISBN: 978-3-944586-66-3

Dissertation, Leibniz Universität Hannover, 2014

Herausgeber der Reihe: ;Dietmar Kracht

Umfang: 121 Seiten, 62 Abbildungen

Schlagworte: laserinduzierte Zerstörung, Defektensembles, nicht-lineare Absorption, strahlungsinduzierte Defekte, Kompositmaterialien, Mischoxide

Kurzfassung: Im besonderen Fall der gütegeschalteten UV-Laserstrahlung mit Wellenlängen von 266nm und 355nm ist der Vorgang der defektindizierten Zerstörung im Detail untersucht worden. Anhand eines verfeinerten Messverfahrens nach dem ISO-Standard 21254-2 wurden so SiO₂, HfO₂ und Al₂O₃ als oxidische Beschichtungsmaterialien analysiert. Im Zentrum standen dabei die in den Schichten vorhandenen Defektensembles und ihr Ansprechverhalten auf die Laserstrahlung.
Ebenfalls spielt in UV-Anwendungen die Zweiphotonenabsorption (2PA) eine große Rolle. Auf Basis des speziellen LZH-IBS-Prozesses (Ion Beam Sputtering) konnten konfektionierte Einzel~schichten hergestellt werden, die eine Untersuchung des Einflusses der 2PA in Resonanz er~möglichte. Im letzten Schritt wurde dann die Entwicklung der prozessbedingten Defekt~ensembles unter UV-Bestrahlung geprüft.